испарительно-ионный вакуумный насос
Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения.
[ГОСТ 5197-85]
Русско-немецкий словарь нормативно-технической терминологии. academic.ru. 2015.
испарительно-ионный вакуумный насос — Геттерно ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения. [ГОСТ 5197 85] Тематики вакуумная техника EN sublimation ion vacuum pump DE… … Справочник технического переводчика
СОРБЦИОННЫЙ НАСОС — вакуумный насос. в к ром откачка происходит вследствие сорбции газа. Разновидностями С. н. являются адсорбционный, геттерный (напр., испарительно геттерный, геттерно ионный, магнитный электроразрядный) и криогенный вакуумные насосы … Большой энциклопедический политехнический словарь
ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАСОС — геттерный вакуумный насос, в к ром наряду с хемосорбцией возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распылённого геттера. Различают испарительно ионные насосы, в к рых ионизиров. газ направляется к непрерывно … Большой энциклопедический политехнический словарь
